[发明专利]保持折反射光刻系统以无翻转（非镜面）像的分束器光学设计

摘要

一种折反射系统，具有分划板光学组，分束器，非球面反射镜，遮光板，折叠反射镜和半导体晶片光学组。光通过分划板上的图案被分束器反射到非球面反射镜。后者将光向回反射通过分束器到达折叠反射镜。折叠反射镜将光反射回分束器。分束器将光反射到半导体晶片光学组。可将多个四分之一波片设置在光学元件之间的光路中，以改变入射光的偏振。光在通过半导体晶片光学组之前通过遮光板，遮光板可防止分束器中内反射产生的背景散射光进入半导体晶片光学组。在另一实施例中，将一隔离板插入分束器中，以在分划板光学组光轴与半导体晶片光学组光轴之间产生偏移。这可以减少从分划板光学组直接透过到达半导体晶片光学组的光。

主权项

1.一种用于将分划板上形成的图案投影到基板上的光学系统，包括一分束器，其具有由隔离板分隔开的一对棱镜；一靠近所述分划板和所述分束器第一面设置的分划板透镜组；一靠近所述分束器第二面设置的非球面反射镜光学组；一靠近所述分束器第三面并与所述非球面反射镜组相对设置的折叠反射镜光学组；一靠近所述分束器第四面并与所述分划板透镜组相对设置的晶片光学组；并且其中从分划板通过所述分划板透镜组投射的光被所述分束器反射到所述非球面反射镜光学组，被反射通过所述分束器到达所述折叠反射镜光学组，并被所述分束器反射到所述晶片光学组。