[发明专利]蒸镀装置无效
| 申请号： | 200310119539.0 | 申请日： | 2003-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1519391A | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | U·霍夫曼恩;A·克雷佩尔;A·吉斯奇科;P·索尔 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 胡强;赵辛 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于蒸镀一基底的垂直取向部分的蒸镀装置具有一个竖立的且被电加热的熔化坩埚(2)，该熔化坩埚有一个要蒸发材料的电加热装置(11)。一个独立于熔化坩埚(2)的并且其上侧可封闭的喷嘴管(3)从上方安放在该熔化坩埚(2)上，该喷嘴管为了蒸镀基底而有一个蒸汽出口(8)。喷嘴管(3)具有一个与该熔化坩埚(2)的加热装置(11)无关的加热装置(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于蒸镀一基底的垂直取向部分的蒸镀装置，其中设有一个竖立的熔化坩埚(2)，该熔化坩埚有一个用于熔化并蒸发被填充在该熔化坩埚里的材料的加热装置，该蒸镀装置具有一个用于使从该熔化坩埚(2)中垂直流出的蒸汽水平转向该基底的转向装置，其特征在于，该转向装置是一个从上方安放在该熔化坩埚(2)上的并且在其上侧可被封闭的喷嘴管(3)，该喷嘴管在它的外周面上具有一水平的蒸汽出口(8)，该喷嘴管(3)具有一个与该熔化坩埚(2)的该加热装置(11)无关的加热装置(10)。
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