[发明专利]可观测离子束造成的表面损伤的TEM样片及其制备方法有效
| 申请号： | 200310122961.1 | 申请日： | 2003-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1635365A | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 张启华;高强;李明;牛崇实 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/18 | 分类号： | G01N23/18;G01N1/44 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种可观测离子束造成的表面损伤的TEM样片及其制备方法，用于研究不同FIB参数对非晶层厚度的影响；首先从被检测样品上分离出一块TEM样片；然后对其上表面首先进行粗切割，使所述TEM样片上包括一个用于TEM观测的长方体小样片，该长方体至少有两个相对的表面以及一个垂直于该两相对面的表面不与该TEM样片相连接，并具有X、Y、Z三个坐标轴方向；将包括小样片的样片置入FIB反应室内，以FIB离子束对小样片进行切割，以获得被离子束打伤的非晶层的侧面，然后将样片放入TEM观测非晶层的物理厚度。本发明只需放入FIB反应室一次，不需对样片多次取放、移动、翻转，非常省时、省力。 | ||
| 搜索关键词： | 观测 离子束 造成 表面 损伤 tem 样片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种可观测离子束造成的表面损伤的TEM样片，该TEM样片是从被检测样品上分离出的，其特征是：该TEM样片上包括一个用于TEM观测的小样片，该小样片为长方体，且该长方体至少有两个相对的表面以及一个垂直于该两相对面的表面不与该TEM样片相连接，该小样片的其他面与该TEM样片均相连，该长方体具有X、Y、Z三个坐标轴方向。
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