[发明专利]带有防滑脱样片取放装置的扫描式电子显微镜有效
| 申请号： | 200310122968.3 | 申请日： | 2003-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1635604A | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 梁山安;季春葵;秦立勇;杨礼仲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01L21/66;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种带有防滑脱样片取放装置的扫描式电子显微镜，包括一个电子－光学系统，一个置放半导体样片的密封室，以及与该密封室相连接的样片取放装置，该样片取放装置包括一个支架与一个滑竿，其中：支架的上端为承载样片的平台，下端接口处设有复数个滑槽，每个滑槽为由浅渐深的滑道结构，滑道结构最深处是一个球形凹槽；滑竿的一端为手柄，另一端为复数个小球；该复数个滑槽与该复数个小球的数量、外形、尺寸一一对应，相互卡接而将该支架与该滑竿连接在一起。由于本发明采用了卡接式防滑脱样片取放装置，故从根本上克服了现有技术中螺纹滑丝而导致连接不牢固等的停机事故。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 滑脱 样片 装置 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种带有防滑脱样片取放装置的扫描式电子显微镜，包括一个电子-光学系统，一个置放半导体样片的密封室，以及与该密封室相连接的样片取放装置，其特征是：该样片取放装置包括一个支架与一个滑竿，其中：支架的上端为承载样片的平台，下端接口处设有复数个滑槽，每个滑槽为由浅渐深的滑道结构，滑道结构最深处是一个球形凹槽；滑竿的一端为手柄，另一端为复数个小球；该复数个滑槽与该复数个小球的数量、外形、尺寸一一对应，相互卡接而将该支架与该滑竿连接在一起。
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