[实用新型]一种用于热蒸发型真空镀膜设备的热蒸发源无效
| 申请号： | 200320108962.6 | 申请日： | 2003-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN2668649Y | 公开（公告）日： | 2005-01-05 |
| 发明（设计）人： | 徐良衡;徐英明;陈绍 | 申请（专利权）人： | 上海复旦天臣新技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 罗大忱 |
| 地址： | 200437上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型设计了一种用于热蒸发型真空镀膜设备的热蒸发源，包括料斗和加热片。其特征在于，所说的料斗为V字形斜槽，所说的加热片设置在V字形斜槽的底部。本实用新型改变了传统舟型蒸发源，盛放蒸发物料的料斗为V字形斜槽，物料的蒸发只依靠料斗底部的加热片。本实用新型提供的新型蒸发源克服了传统舟型蒸发源的缺陷，大幅度的提高了物料蒸发的稳定性，从而提高了镀膜的均匀性和质量。同时改善了对物料蒸发的可控制性，使镀膜过程更加易于控制和调节。这种新型的蒸发源适用于各种类型和尺寸的真空蒸发镀膜系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蒸发 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于热蒸发型真空镀膜设备的热蒸发源，包括料斗(1)、底部支座(2)、加热电极(3)和加热片(4)，其特征在于，所说的料斗(1)为包括两个独立斜边(6)的V字形斜槽，独立斜边(6)通过支架(10)固定在底部支座(2)上，加热片(4)嵌在V字形斜槽的底部，加热片(4)与加热电极(3)相连接，热电极(3)固定在底部支座(2)上。
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