[发明专利]用于感光树脂组合物的涂敷性能改善剂和含有这种改善剂的感光树脂组合物有效
申请号: | 200380104035.X | 申请日: | 2003-11-14 |
公开(公告)号: | CN1714315A | 公开(公告)日: | 2005-12-28 |
发明(设计)人: | 渡部顺一郎;武田贵志 | 申请(专利权)人: | AZ电子材料(日本)株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人: | 刘激扬 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 为了同时解决在涂敷感光树脂组合物到大尺寸基材上时存在的鳞片状不均匀性(鳞片不均匀性)和基材边缘的升高(凸缘)的问题,一种如通式(1)所示的硅油可被结合到一种含有碱溶性树脂如酚醛清漆树脂和具有醌二叠氮基的感光剂的感光树脂组合物之中,其添加量为感光树脂组合物总固体含量的50-5000ppm,其中,R1、R2、R3、R4、R5和R6独自表示氢原子、羟基、C1-4烷基或芳基,m是1-40的一个整数,且n是1-40的一个整数。 | ||
搜索关键词: | 用于 感光 树脂 组合 性能 改善 含有 这种 | ||
【主权项】:
1.一种用于感光树脂组合物的涂敷性能改善剂,包含由下述通式(1)表示的聚(二甲基硅氧烷-二苯基硅氧烷)共聚物硅油:
其中,R1、R2、R3、R4、R5和R6独自表示氢原子、羟基、C1-4烷基或芳基,m是1-40的一个整数,且n是1-40的一个整数。
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