[发明专利]用于铜互连的电化学或化学沉积的电镀溶液及其方法无效

专利信息
申请号: 200380106127.1 申请日: 2003-11-07
公开(公告)号: CN1726310A 公开(公告)日: 2006-01-25
发明(设计)人: S·D·博伊德;S·克萨里;W·M·拉曼纳;M·J·帕伦特;L·A·扎哲拉;张海燕 申请(专利权)人: 3M创新有限公司
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 朱黎明
地址: 美国明*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了具有二(全氟烷磺酰基)亚胺铜或三(全氟烷磺酰基)甲基铜的电镀溶液以及使用这些电镀溶液的电化学沉积或化学沉积铜互连的方法。
搜索关键词: 用于 互连 电化学 化学 沉积 电镀 溶液 及其 方法
【主权项】:
1.一种电解电镀溶液,它基本由以下组分组成:a)至少一种由下式表示的二(全氟烷磺酰)亚胺铜其中Rf1和Rf2各自是全氟烷基,它可以是环状或非环状的,可任选包含链接的或末端的选自N、O和S的杂原子,任意两个Rf基团可连接起来形成含全氟亚烷基的环,所述Rf基团包括1-12个碳原子,n是1-2的整数;b)溶剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于3M创新有限公司,未经3M创新有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200380106127.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top