[发明专利]具有多检测器的扫描电子显微镜和基于多检测器成像方法有效
| 申请号： | 200380110408.4 | 申请日： | 2003-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN1820194A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 德罗尔·塞梅斯;帕维尔·阿达梅克 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用多个检测器(14，40)检测电子的方法和系统，所述方法包括下述步骤：引导原电子束通过一柱(column)以接触被检测对象(晶元)；通过引入强静电场，将由被检测对象(晶元)反射或散射的电子引向多个内部检测器(14，40)，同时至少一些被引导的电子以相对于所述被检测对象(晶元)较小的角度反射或散射；以及接收来自至少一个内部检测器的检测信号。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 检测器 扫描 电子显微镜 基于 成像 方法 | ||
【主权项】：
1、一种通过多个检测器检测电子的方法，所述方法包括以下步骤：引导原电子束通过一柱以接触被检测对象；通过引入强静电场，将由被检测对象反射或散射的电子引向多个内部检测器，同时至少一些被引导的电子以相对于所述被检测对象较小的角度反射或散射；以及接收来自至少一个内部检测器的检测信号。
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