[发明专利]图案模拟方法及其程序和存储其程序的媒体及其装置有效
| 申请号： | 200410005306.2 | 申请日： | 2004-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN1521566A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 樫本登;伊月义治 | 申请（专利权）人： | 东芝松下显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/133;G06F17/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能容易地发现分划板数据及曝光用数据的设计错误的图案模拟方法。分划板数据是将在玻璃基板上形成的全部图案分割成多个区域的每个分割区域的分划板图案。曝光用数据表示将分划板图案拍摄在玻璃基板的哪个位置上。利用分划板数据及曝光用数据在玻璃基板上形成基板图案之际，对玻璃基板上每次拍摄的曝光区域作OR运算。根据OR运算模拟玻璃基板上的曝光图案。利用分划板数据及曝光用数据能容易地检查在玻璃基板上形成基板图案之际的玻璃基板上的未曝光的遮光区域。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 模拟 方法 及其 程序 存储 媒体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种图案模拟方法，是对根据分划板数据和曝光用数据模拟在基板上曝光形成的基板图案进行模拟的图案模拟方法，所述分划板数据用于表示将想要在所述基板上形成的全部图案分割成多个区域的每个分割区域的分划板图案，所述曝光用数据用于表示将所述分划板图案拍摄在所述基板的哪个位置上，其特征在于，在利用所述分划板数据及曝光用数据在所述基板上形成所述基板图案之际，对与该基板上的每次拍摄曝光的多个区域相当的图案作OR运算，根据这一OR运算，模拟所述基板被曝光一次以上的区域的图案。
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