[发明专利]具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法有效
| 申请号： | 200410006359.6 | 申请日： | 2004-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1527026A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 赵维谦;谭久彬;邱丽荣 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人： | 马东晓 |
| 地址： | 150001黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明属于表面微细结构测量技术领域，涉及一种具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法。该方法采用差动共焦显微双接受光路布置和双探测器相减形成差动共焦信号，对被测工件进行测量，通过光学超分辨共焦显微检测方法提高横向分辨力，通过差动共焦显微探测方法提高纵向分辨力，从而达到差动共焦扫描检测的高空间分辨力检测。该方法可以满足高空间分辨力、高精度和较大测量范围的要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、微沟槽、线宽以及表面形貌的测量等。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 空间 分辨力 差动 扫描 检测 方法 | ||
【主权项】：
1、具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法，采用差动共焦显微术的双接受光路布置(25)和双探测器相减探测对被测样品(12)进行扫描测量，其特征在于：<1>入射光通过光瞳滤波器(1)、偏振分光镜(2)等，经差动共焦显微系统的测量物镜(4)对被测样品(12)进行扫描测量，光电探测器(10)和光电探测器(11)分别测得反映被测样品(12)凸凹变化大小的强度曲线I1(v，u，-uM)和强度曲线I2(v，u，+uM)；<2>将I1(v，u，-uM)和I2(v，u，+uM)差动相减并进行归一化处理，得到对应被测样品(12)凸凹变化的强度曲线I3(v，u，uM)；<3>优化针孔(8)和针孔(9)距其相应聚光镜焦点的位置uM，提高差动共焦显微系统的轴向分辨力；<4>优化振幅型滤波器、位相型滤波器、振幅位相混合型滤波器等光瞳滤波器的参数，满足GT(有光瞳滤波器和无光瞳滤波器时的响应曲线半高宽之比)和S(有光瞳滤波器和无光瞳滤波器时的焦点强度最大值之比)的设计要求，使差动共焦显微系统的爱里斑主瓣得到锐化，提高差动共焦显微系统的横向分辨力；<5>依据I3(v，u，uM)强度曲线s在零点附近ab测量范围段内的光强大小，重构出被测样品(12)的表面形貌和微观尺度。
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