[发明专利]离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构有效
| 申请号： | 200410008464.3 | 申请日： | 2004-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1560897A | 公开（公告）日： | 2005-01-05 |
| 发明（设计）人： | 汪劲松;朱煜;陈涛;尹文生;段广洪;于晖 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，属于半导体设备技术领域。现有靶盘扫描运动机构采取了串联运动机构，为了解决这种机构刚度低、传动系统复杂、积累误差大的问题，本发明公开了一种采用伸缩腿双支链结构的2自由度平面并联机构，包括靶盘、伸缩腿第一支链和伸缩腿第二支链，靶盘上安装有接受离子注入的硅片。伸缩腿第一支链的一端通过转动铰与离子注入机注入腔室的第一安装点连接，另一端通过转动铰与靶盘的一点连接；伸缩腿第二支链的一端刚性固定在离子注入机注入腔室的第二安装点上，另一端通过转动铰与靶盘的另一点连接。本发明所述机构与现有机构相比，结构简单，刚度大，传动链极短，精度高，驱动电机可布置在腔室外，避免了磁场干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 中的 垂直 扫描 运动 机构 | ||
【主权项】：
1.离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，其特征在于：该运动机构是采用伸缩腿双支链结构的2自由度平面并联机构，包括靶盘、伸缩腿第一支链和伸缩腿第二支链，所述靶盘上安装有接受离子注入的硅片；所述伸缩腿第一支链的一端通过转动铰与所述离子注入机注入腔室的第一安装点连接，另一端通过转动铰与所述靶盘的一点连接；所述伸缩腿第二支链的一端刚性固定在所述离子注入机注入腔室的第二安装点上，其另一端通过转动铰与所述靶盘的另一点连接。
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