[发明专利]大平面构图介质的高通量检测方法和装置

摘要

在用于检测带有周期性结构的平面对象的检测系统中，远心透镜系统的焦平面中的可编程光学傅立叶过滤器被用于直接识别指明非周期性缺陷的物理现象。透镜组件和相干光源被用于产生和观察傅立叶平面内的周期性结构的空间傅立叶变换。使用电可编程和电可对准空间光调制器，光学傅立叶过滤(OFF)在聚焦平面内被完成，带有高的信噪比的空间光调制器根据反馈驱动、过滤器结构和对准算法被重新配置。OFF增强了在傅立叶平面和目标的最终图像平面内出现的任何非周期性成分。带有多个检测通道的系统提供了带有小的非周期性缺陷的目标的高通量检测，同时维持高的检测灵敏度。

主权项

1.在用于检测具有周期性结构的大的平面对象中的缺陷的检测系统的方法中，一种用于提供可改变的掩膜以加强所述平面对象中的非周期性结构的可见性的方法，包括：通过第一透镜组件将所述平面对象的图像作为输入空间信号投射到傅立叶平面上，以产生所述平面对象的所述空间信号的光学空间傅立叶变换；电力地使所述周期性结构与所述第一透镜组件的傅立叶平面上的电可编程空间光调制器对准，以遮挡所述空间傅立叶变换的周期性成分，并产生非周期性成分占主导的过滤的光学空间傅立叶变换，所述空间光调制器具有足够的分辨率、光能通量和对比度以用作一个有效的掩膜部件；以及通过第二透镜组件将所述被过滤的光学空间傅立叶变换的图像作为输出空间信号投射到图像平面，以产生过滤的图像，从而增强所述非周期性结构对空间光学能量检测器的可视性；其中所述电力对准步骤采用从所述图像平面转换来的光信号作为反馈信号。