[发明专利]硬盘用微致动器中的多层膜压电元件及其制备方法

摘要

本发明涉及硬盘用微致动器中的多层膜压电元件及其制备方法，属于微机电技术领域。该致动器的多层膜压电元件由流延法或丝网印刷工艺等制作压电陶瓷膜，采用丝网印刷工艺等制作中间电极层。采用Ag/Pd电极和PMN－PZT材料，实现了低温共烧(从＞1300℃降至1030～1190℃)。本发明将装有压电微致动器的磁头悬臂的自由端位移提高到≥0.80μm，谐振频率提高到＞15kHz(在外加电压≤40V的条件下)，使该微致动器具有优异的位移/电压灵敏度、谐振频率和驱动力等特点，以适应于计算机硬盘双级伺服系统次级精致动器的寻址和精确定轨之用。本发明的多层膜压电元件可广泛用于计算机，同样可以用于其他微致动及位置控制技术领域。

主权项

1、硬盘用精定位微致动器的多层膜压电元件，其特征在于，该压电元件由多层膜结构的压电陶瓷材料和电极材料组成，所述压电陶瓷材料为高d31特性的压电层，电极材料主要含有电极层，电极板；所述多层膜压电元件位于微致动器的两侧，采用U型不锈钢微致动器基体，所述电极层含有底电极层、中间电极层、顶电极层。