[发明专利]应用在清洗液循环系统中可延长过滤器寿命的清洗装置无效
| 申请号： | 200410017410.3 | 申请日： | 2004-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1676192A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 郭国超;江瑞星;梁世岳;刘文宏 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/62 | 分类号： | B01D29/62;B01D29/66;B01D35/02;B01D36/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用在清洗液循环系统中可延长过滤器寿命的清洗装置，它将此清洗装置装设在一清洗液循环系统中。此清洗装置包含一第二容置槽，其内安装有氢氟酸、过氧化氢及盐酸的混合液，并利用管路连接装设在清洗液循环系统的二控制阀上，并利用一第二泵使第二容置槽内的混合液在管路中流动循环而流经清洗液循环系统中的过滤器，以有效洗净过滤器。利用本发明的结构设计可有效延长清洗循环系统中过滤器的使用寿命，同时达到提升洗净效果的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 清洗 循环系统 可延长 过滤器 寿命 装置 | ||
【主权项】：
1、一种应用在清洗液循环系统中可延长过滤器寿命的清洗装置，装设在一清洗液循环系统中，该清洗液循环系统包括一放置有清洗液的第一容置槽，其利用一管路连通一加热器与一过滤器，并利用一第一泵使清洗液流动循环而使清洗液经加热器加热及过滤器滤除杂质，且在过滤器二端的管路上各装设一控制阀，所述清洗装置特征在于包括：一第二容置槽，其内安装有氢氟酸、过氧化氢及盐酸的混合液，所述第二容置槽利用管路连接装设在所述清洗液循环系统的所述二控制阀上，以利用所述控制阀控制所述清洗液及所述混合液的流动与否；以及一第二泵，其使所述第二容置槽内的所述混合液在所述管路中流动循环而流经所述过滤器。
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