[发明专利]TiN－TiAIN系列硬质纳米结构多层膜镀层无效
| 申请号： | 200410022552.9 | 申请日： | 2004-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1648286A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 陈维熹;强中黎;薛伟贤;钱积惠 | 申请（专利权）人： | 成都凯贝克纳米镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C23C28/00;C23C14/06;C23C16/34 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 | 代理人： | 游兰 |
| 地址： | 610041四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明TiN－TiAlN系列硬质纳米结构多层膜镀层属于纳米新材料，将其镀制在材料表面用作表面改性。本发明利用物理气相沉积技术在材料表面交叉进行纳米尺寸的TiN膜和TiAlN膜的沉积，因纳米尺寸效应使镀层性能最佳化，可显著提高工具、模具、零部件等的表面性能。例如，镀层的维氏硬度HV要显著高于TiN和TiAlN的值，HV≥3200。技术要点：1、利用特殊的工艺程序可保证各纳米膜间有良好的结合强度。2、在镀膜炉中不同区域内产生不同金属离子，实现同炉不同材料的镀膜。本发明可以显著提高材料的耐磨、硬度、耐热和抗腐蚀等性能，提高其使用性能、延长使用寿命等。 | ||
| 搜索关键词： | tin tiain 系列 硬质 纳米 结构 多层 镀层 | ||
【主权项】：
1、一种由TiN膜和TiAlN膜组成的TiN-TiAlN系列硬质纳米结构多层膜镀层，将其镀制在材料表面，用于材料的表面改性。
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