[发明专利]粘合基板制造装置和粘合基板制造方法有效
| 申请号： | 200410032137.1 | 申请日： | 2004-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1534356A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | 桥诘幸司;宫岛良政;伊藤彰悦 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339;G02F1/136 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 经志强;潘培坤 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可防止粘合时基板横向滑移的粘合基板制造装置。该装置是在相互对向地配置在腔室内的加压板和台(33b)上，利用压力差吸附(第1保持面(61))和静电吸附(第2保持面(62))分别保持着第1基板和第2基板。在台(33b)的基板保持面上，形成利用摩擦阻力进一步保持第2基板的由摩擦阻力材料构成的第3保持面(63)。这样，在粘合时，可以防止因施加在两基板上的加工压的反向力而使基板横向滑移。 | ||
| 搜索关键词： | 粘合 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种粘合基板制造装置，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持着第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，上述第1及第2保持板，可利用压力差吸附和静电吸附中的至少一种，分别保持上述第1及第2基板，上述第1及第2保持板中的至少一个保持板的基板保持面上，形成有利用摩擦阻力进一步分别保持上述第1及第2基板的摩擦阻力材料。
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