[发明专利]清洗装置无效
| 申请号： | 200410042930.X | 申请日： | 2004-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1572383A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 吉田隆司;菊地长保;岩崎元明;幅谷仓夫;矢野达郎;城间贵浩 | 申请（专利权）人： | 富士电机电子设备技术株式会社 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/00;B08B5/00;G11B23/50;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在减少灰尘的发生源的同时，通过防止吹在被清洗物上的CO2的结露，可以进行洁净清洗的清洗装置。在从喷嘴将溶媒喷射在被清洗物上进行清洗的清洗装置中，为了防止被清洗物的结露，具有将加热的气体喷射在被清洗物表面上的气体喷射装置，当清洗时该气体喷射装置在上述被清洗物上移动，在不清洗时从上述被清洗物退避。在不清洗时，喷射小流量的加热气体，在清洗时，喷射大流量的加热气体。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种清洗装置，其可将清洗剂从喷嘴喷射至被清洗物上进行清洗，其特征为，具有将加热的气体喷射在被清洗物的表面上的气体喷射装置，清洗时可在所述被清洗物上移动，不清洗时从所述被清洗物上退避，在清洗时和非清洗时可以控制所述加热的气体的喷射量。
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