[发明专利]图形检查装置有效
| 申请号： | 200410047546.9 | 申请日： | 2004-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1573280A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 林宏树;永森进一 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图形检查装置，即使在基板上形成具有如粘合剂层这样的微小凹凸的层，也能够无误识别地利用透射光自动进行图形检查。利用带传送机构向检查部传送TAB带上的图形，从透射照明装置照射照明光，用CCD线性传感器拍摄图形。透射照明装置由倾斜配置的2个照明装置构成，从倾斜方向照射照明光。拍摄的图像传送到控制部，与检查用的母型图像进行比较，判断图形是否合格。也可以代替倾斜配置透射照明装置，从CCD线性传感器(1b)的视场外照射照明光，或用遮光板覆盖CCD线性传感器的视场内。由于透射照明装置作成上述结构，能够对TAB带照射适度的漫射光，能够得到无斑点或无不均的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种图形检查装置，利用摄像元件拍摄形成有布线等图形的基板，并自动进行检查，其特征在于，具有：拍摄基板表面的摄像装置；照明装置，位于相对于上述基板与上述摄像装置相反的一侧，从上述摄像装置的视场外，照射作为漫射光的照明光；控制装置，将利用摄像装置拍摄的基板图像的图形和预先存储的标准图形进行比较来进行检查。
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