[发明专利]用于平板基材的镀膜装置有效
| 申请号： | 200410054696.2 | 申请日： | 2004-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1727517A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张礼凯;唐震宸;李天源 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于平板基材的镀膜装置包括：腔体；设在该腔体内的转盘；布设在该转盘周围的多个架体，且每一个架体的各表面均固定有至少一个平板基材；用于驱动该转盘与该架体分别转动的驱动组件以及设在该腔体内的镀膜单元，以将待镀材料镀覆于这些平板基材上，进而解决现有技术无法提高平板基材的镀膜产能的问题；提高产能与空间利用率，同时还可兼顾其镀膜均匀性，并减低设备的相对成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平板 基材 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于平板基材的镀膜装置，其特征在于，该装置包括：腔体；转盘，设在该腔体内；多个架体，布设在该转盘的周围上，且每一个架体装置有至少一个平板基材；驱动组件，用于驱动该转盘与该架体分别转动；以及镀膜单元，设在该腔体内，将待镀材料镀覆在这些平板基材上。
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