[发明专利]阴极溅射设备无效

专利信息
申请号: 200410063816.5 申请日: 2004-07-09
公开(公告)号: CN1580319A 公开(公告)日: 2005-02-16
发明(设计)人: F·富克斯;S·邦格特;R·林登伯格;H·格里姆;T·斯托莱;U·舒布勒 申请(专利权)人: 应用菲林股份有限两合公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 苏娟;蔡民军
地址: 联邦德国*** 国省代码: 德国;DE
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种为了在真空中涂覆基底而阴极溅射的设备,该设备包括载体和冷却系统;载体用于待溅射的材料,基本上为管形并可绕其纵轴线旋转;冷却系统在与设在载体之外的冷却装置相结合时适于使冷却介质在管形的载体中循环;该设备还包括用于连接供电回路的装置和用于使管形的可旋转的载体绕其纵轴线旋转的驱动装置。所述设备还提供磁系统,该磁系统沿纵轴线伸展用于对于设置在由待溅射的材料所制成的靶附近的等离子进行磁包围,该磁系统由极靴、用渗磁的金属制成的磁轭及磁化装置组成,该磁化装置适于在磁化系统中产生磁通,磁系统的极性的磁极设在管形的可旋转的载体之外并框架地包围该载体,并在管形的可旋转的靶载体中设有对应的磁极。
搜索关键词: 阴极 溅射 设备
【主权项】:
1.用于在真空中对于基底进行涂覆而进行阴极溅射的设备(8),该设备包括一个载体(2)、一个磁系统和一个冷却系统;所述载体(2)用于待溅射的材料,基本上为管形,并且可绕其纵轴线旋转;所述磁系统沿纵轴线伸展,用于对于设置在由待溅射的材料制成的靶(2)附近的等离子进行磁包围,其中该磁系统由极靴(9,10)和由渗磁的金属制成的磁轭(12,13)以及磁化装置(5)组成,这些磁化装置适于在磁化系统中产生磁通;所述冷却系统在与一个设在载体之外的冷却装置相结合的情况下适于使冷却介质在管形的载体中循环;该设备还包括一个用于连接一个供电回路的装置和一个用于使管形的、可旋转的载体绕其纵轴线旋转的驱动装置,其特征在于,磁系统的一个极性的磁极设在管形的、可旋转的载体(2)之外并包围该载体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用菲林股份有限两合公司,未经应用菲林股份有限两合公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200410063816.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top