[发明专利]光纤微机电系统压力传感器及其制作方法

摘要

光纤微机电系统传感器及其制作方法涉及运用单晶硅膜作为压力敏感膜的压力传感器及其制作方法，该传感器以硼硅玻璃衬底为基底，在硼硅玻璃衬底上设有一个单晶硅片；该单晶硅片的下表面中央与硼硅玻璃衬底之间设有法布里—珀罗腔；单晶硅片上表面中央设有一个凹槽，单晶硅片的中央为单晶硅横隔膜；在硼硅玻璃衬底的下面设有光纤。其制作方法是该传感器以硼硅玻璃作为衬底，由一个下表面被蚀刻了浅薄圆柱形槽体的单晶硅片与硼硅玻璃阳极键合形成法布里—珀罗腔，再从单晶硅片的上表面进行深腐蚀形成凹槽，最后形成单晶硅横隔膜，光纤的端部接在硼硅玻璃衬底的下部，由光固化环氧树脂将光纤与硼硅玻璃衬底连接。

主权项

1、一种用于测量压力的光纤微机电系统传感器，其特征在于该传感器以硼硅玻璃衬底(2)为基底，在硼硅玻璃衬底(2)上设有一个单晶硅片(1)；该单晶硅片(1)的下表面中央与硼硅玻璃衬底(2)之间设有法布里—珀罗腔(5)；单晶硅片(1)上表面中央设有一个凹槽(11)，单晶硅片(1)的中央为单晶硅横隔膜(4)；在硼硅玻璃衬底(2)的下面设有光纤(3)。