[发明专利]隧穿损耗探针扫描显微镜及其测量方法

摘要

本发明涉及一种隧穿损耗探针扫描显微镜及其测量方法。该显微镜包括有PZT扫描管，导电金属探针及导电样品、扫描隧道显微镜控制器、频率发生和相位检测器、前置放大器、导电的被测样品和微型计算机。采用具有交流载波和直流分量的偏压方法，在探针和被测表面间的交变电流幅值和隧穿损耗角随频率变化曲线的峰值附近或斜率变化最大处，选择若干个工作频率，用隧穿电流的直流分量、隧穿电流的交流分量幅值和交变电流落后于交变电压的相角作为二维图像的显示量。在探针的一次二维扫描中可同时获得被测物表面的二维形貌图、交变电流幅值图和隧穿损耗图。在二维电流响应图和隧穿损耗图中显示出了在二维形貌图所未能显示出的细节；并可对不同的被测原子显示出不同的灰度，可被用于原子、分子及键型的识别。

主权项

1、一种隧穿损耗探针扫描显微镜，其特征是该显微镜包括有PZT扫描管、导电金属探针、扫描隧道显微镜控制器、前置放大器、频率信号发生和相位检测器、导电的被测样品和微型计算机系统，其特征是在导电金属探针或样品上连接可调节交流载波和直流分量偏压幅值的频率信号发生和相位检测器，频率信号发生和相位检测器还同时与扫描隧道显微镜控制器和微型计算机系统相连接。