[发明专利]基板处理装置、细缝喷嘴、被填充体的液体填充度判定机构及气体混入度判定机构

摘要

本发明提供一种可简单而且确实地排去集管的空气、并且不产生涂敷不均的细缝喷嘴和具有该细缝喷嘴的涂敷处理装置。细缝喷嘴(41)在两侧端部具有抗蚀剂液的供给口(46a、46b)，集管(45)的上面(45a)在排气孔(47)的端部(47a)与供给口(46a、46b)之间具有倾斜。根据该形状，混入到填充了的抗蚀剂液中的气泡容易从排气孔(47)排出。另外，抗蚀剂液从供给口(46a、46b)侧流动到排气孔(47)，所以不产生抗蚀剂液的不滞留，可在短时间内确实地进行填充时的排气。另外，在涂敷处理时，因为抗蚀剂液的粘度不产生局部差异，所以可形成均匀的涂敷膜。

主权项

1.一种基板处理装置，具有：保持基板的保持台；排出规定的处理液的细缝喷嘴；使上述细缝喷嘴在沿着上述基板的表面的大致水平方向上移动的移动装置；将上述规定的处理液从规定的处理液供给源供给到上述细缝喷嘴的处理液供给装置，通过使上述细缝喷嘴在上述大致水平方向上移动，使上述细缝喷嘴扫描上述基板的表面，同时使填充于上述细缝喷嘴的内部的上述规定的处理液排出，从而将上述规定的处理液涂敷到基板上，其特征在于，在上述细缝喷嘴中，与上述处理液供给装置连接、将上述规定的处理液供给到上述细缝喷嘴的集管的供给口设置于上述集管的纵向方向的两侧端部中至少一个的侧端部，将存在于上述细缝喷嘴内部的流体排出到上述细缝喷嘴的外部的排出口设置于上述集管的上端部，上述排出口设置在比上述供给口高的位置。