[发明专利]采用压电致动器移动物体的系统和方法有效

专利信息
申请号: 200410100797.9 申请日: 2004-12-14
公开(公告)号: CN1721993A 公开(公告)日: 2006-01-18
发明(设计)人: S·G·M·亨德里克斯;T·A·马特塔亚尔;G·J·C·C·M·里希尔斯 申请(专利权)人: ASML荷兰有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;H01L21/00;H01L41/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 肖春京
地址: 荷兰维*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 发明提供一种压电致动器系统。压电致动器系统包括大量可以伸长和切变的压电致动器。利用伸长和切变,压电致动器分别响应于第一和第二控制信号而抓紧和移动物体。物体可能的位移受压电致动器的最大切变的限制。为了增大可能的位移,可以控制压电致动器进行线性切变顺序或搬移顺序。在线性切变顺序过程中,移动物体;在搬移顺序过程中,物体基本上静止,而压电致动器相对于物体复位,之后进一步利用线性切变顺序移动物体。压电致动器系统可适合于执行缓慢搬移顺序,该缓慢搬移顺序是相对缓慢地执行搬移顺序,在该顺序过程中可以同时执行线性切变顺序,防止在移动过程中的任何停机时间。
搜索关键词: 采用 压电 致动器 移动 物体 系统 方法
【主权项】:
1.一种用于移动物体的压电致动器系统,包括:多个压电致动器,每个所述压电致动器配置为响应于第一控制信号伸长或收缩,并且响应于第二控制信号沿第一方向或与所述第一方向相反的第二方向发生切变;控制系统,用于通过提供所述第一和第二控制信号来控制所述压电致动器;其中系统通过执行至少一次线性剪切顺序和搬移顺序来实现所述物体的移动,所述线性切变顺序包括利用至少一个所述压电致动器与所述物体接合,并通过使所述至少一个压电致动器沿第一方向发生切变来移动所述物体,其中所述搬移顺序包括释放第一压电致动器与所述物体的接合,通过使所述第一压电致动器沿相反方向发生切变来改变所述第一压电致动器的切变状态,并利用所述第一致动器再次与物体接合。
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