[发明专利]制备大尺寸高均匀CVD ZnS材料的设备及其工艺

摘要

一种化学气相沉积制备大尺寸高光学均匀性硫化锌材料的设备及其工艺，是在高温真空炉内设有锌池、沉积室和卸料箱，锌蒸汽喷嘴与硫化氢喷嘴的结构为同心圆结构，且硫化氢喷嘴为中心喷嘴，锌蒸汽喷嘴为外环喷嘴。该方法包括：预抽真空、升温、通入氩气、通入经氩气稀释的硫化氢气体、控制硫化锌的生长步骤。其中，硫化氢与氩气的稀释体积比例控制在1∶5到1∶10之间；通入锌池的携带锌的氩气与稀释硫化氢的氩气的体积比例控制在10∶1到5∶1之间；锌与硫化氢的mol比控制在1∶1至1.5∶1之间；反应的压力控制在3000－10000帕；沉积区的温度控制在550－700℃之间；锌池的温度控制在500－800℃之间。有效地解决了化学气相沉积制备硫化锌工艺中厚度均匀性和光学质量均匀性问题。

主权项

1、一种化学气相沉积制备大尺寸高光学均匀性硫化锌材料的设备，是在高温真空炉内自下而上分别设有锌池、沉积室和卸料箱，其中，锌池内盛放锌原料，锌池接有氩气进口管，在锌池的盖部通过锌蒸汽喷嘴与其上部的沉积室接通，并有经氩气稀释的硫化氢气体进口管通过硫化氢喷嘴接通该沉积室，沉积室的上口与卸料箱的下口相通，锌池、沉积室和卸料箱构成一个密闭的空间，并且，卸料箱的上口直通高温真空炉外，并通过抽气管道依次与高效过滤器、真空泵、硫化氢吸收塔相连接，在高温真空炉内设有加热器，其特征在于：锌蒸汽喷嘴与硫化氢喷嘴的结构为同心圆结构，且硫化氢喷嘴为中心喷嘴，锌蒸汽喷嘴为外环喷嘴。