[实用新型]聚焦镜球差与焦斑能量分布测量仪

摘要

一种聚焦镜球差与焦斑能量分布测量仪，其特征在于它共光轴地依次设有标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、被检聚焦镜、CCD摄像机，所述的扫描式哈特曼光阑安装在光阑支架上，该支架上方固定有编码器，下方装有步进电机，还有计算机，所述的CCD摄像机、编码器和步进电机均与计算机相连，且CCD可沿光轴方向移动；在计算机的控制下，通过步进电机驱动扫描式哈特曼光阑绕光轴旋转，同时该计算机接收CCD摄像机输出的图像和编码器给出的扫描式哈特曼光阑的位置信息，并对图像进行数据处理。本实用新型具有检测精度高、速度快、评价像质手段多、功能多等优点，可用于指导光学元件加工、光路调整、评价聚焦镜的质量、入射光束与焦斑的质量等。

主权项

1、一种聚焦镜球差与焦斑能量分布测量仪，其特征在于它共光轴地依次设有标准平行光管(9)、扫描式哈特曼光阑(10)、被检聚焦镜(11)、可沿光轴移动的CCD摄像机(13)，所述的扫描式哈特曼光阑(10)安装在光阑支架上，该支架上方固定有编码器(15)，下方装有步进电机(16)，还有计算机(14)，所述的CCD摄像机(13)位于显微物镜(12)的像面位置，所述的CCD摄像机(13)、编码器(15)和步进电机(16)均与计算机(14)相连。