[发明专利]检测缺陷像素的方法无效
| 申请号： | 200480001745.4 | 申请日： | 2004-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN1723384A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 彼得·杜尔 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克激光系统公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种检测包括多个像素元件的空间光调制器中至少一个缺陷像素的方法。空间光调制器对检测器成像。由所述检测器检测所述空间光调制器中的像素的第一棋盘图案的中继图像。由所述检测器检测所述空间光调制器中的像素的为第一棋盘图案的反转的第二棋盘图案的中继图像。分析所述第一和第二图像的中继图像以检测所述检测图像与其理论图像之间的差异。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 缺陷 像素 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测空间光调制器中一个或多个缺陷像素的方法，其包括步骤：提供一种照射所述空间光调制器的电磁辐射源，在所述空间光调制器中设置一基准图案，照射所述空间光调制器，通过以检测器设置检测所述基准图案的中继图像而确定所述空间光调制器中基准像素的位置，在所述空间光调制器中设置第一图案，照射所述空间光调制器，以检测器设置检测所述第一图案的中继图像，在所述空间光调制器中设置至少一个第二图案，照射所述空间光调制器，检测所述空间光调制器中所述至少一个第二图案的中继图像，分析所述第一图案和所述至少一个第二图案的所述中继图像，以检测所述图像与其理论图像之间的差异。
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