[发明专利]具有复合透明窗口的化学机械抛光垫无效
| 申请号： | 200480003033.6 | 申请日： | 2004-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN1744968A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼什沃尔·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/14;B24D3/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及包含透明窗口的化学机械抛光垫。在一个实施方式中，透明窗口包含无机材料及有机材料，其中该无机材料占透明窗口的20重量％或更多。在另一实施方式中，透明窗口包含无机材料及有机材料，其中该无机材料分散在整个有机材料中，且具有5至1000纳米的大小，且其中该透明窗口在200至10,000纳米的范围中的至少一个波长处具有30％或更大的总透光率。在另一实施方式中，透明窗口包含无机/有机杂化溶胶－凝胶材料。在一额外实施方式中，透明窗口包括聚合物树脂及澄清材料，其中该透明窗口具有基本高于仅包含聚合物树脂的窗口的总透光率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 复合 透明 窗口 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学机械抛光的包含透明窗口的抛光垫，其中该透明窗口包含至少一种无机材料及至少一种有机材料，且其中以透明窗口的总重量计，该无机材料占透明窗口的20重量％或更多。
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