[发明专利]板状工件研磨装置以及板状工件的研磨方法

摘要

在抛光辊研磨印刷基板板材等薄的板状工件过程中，设置着将通过抛光辊和支承辊之间的板状工件向输送辊导向的导向部件，同时在输送过程中，使抛光辊停止旋转或使抛光辊反转，由此在依靠抛光辊研磨表面时，来防止因薄板状工件产生弯曲而使板状工件弯折。此外，因包括：至少能够防止含有研磨辊组发生的研磨渣的水花向工件输送方向飞溅的遮蔽部件，以及将被遮蔽部件遮挡的水输送到设备以外的输送通路，由此能够防止产生凹痕或划伤，同时又可以消除以下不良原因，即：通过印刷基板板材层间的孔而进行导电连接的不良。

主权项

1.一种板状工件研磨装置，包括：由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组；使上述抛光辊旋转的抛光辊驱动机构；使上述支承辊旋转的支承辊驱动机构；对上述抛光辊驱动机构和支承辊驱动机构进行控制的控制机构；输送板状工件的输送辊，该板状工件研磨装置将印刷基板板材等板状工件供给于上述抛光辊和上述支承辊之间，对板状工件的表面进行研磨，其特征在于，还包括将在上述研磨辊组的抛光辊和支承辊之间通过的板状工件向输送辊导向的导向部件。