[发明专利]感光树脂组合物和使用该感光树脂组合物的干膜抗蚀剂无效
| 申请号： | 200480012068.6 | 申请日： | 2004-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN1784633A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 金奉玘;朴圣模;朴赞硕 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 南霆;朱梅 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碱溶性感光树脂组合物以及使用该感光树脂组合物的干膜抗蚀剂，更具体地涉及一种通过包括对于改善粘附性有效的丙烯酸酯树脂而具有优良的耐热性、耐化学性、和长期稳定性、以及对Cu或ITO(氧化铟锡)基底具有优良的粘附性的感光树脂组合物，以及使用该感光树脂组合物的光敏干膜抗蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 树脂 组合 使用 干膜抗蚀剂 | ||
【主权项】：
1、一种由以下化学式1表示的丙烯酸酯树脂：化学式1![]()
其中，R1为氢、具有或不具有芳基或羟基的C1-C6烷基；R2为氢或甲基；R3为五乙二醇、五丙二醇或六乙二醇；n为8～40的整数；并且m为1～4的整数。
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