[发明专利]荫罩保持装置有效
申请号: | 200480014707.2 | 申请日: | 2004-03-29 |
公开(公告)号: | CN1795283A | 公开(公告)日: | 2006-06-28 |
发明(设计)人: | 沃尔特·弗兰肯;格哈德·K·斯特劳赫 | 申请(专利权)人: | 艾克斯特朗股份公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;G03F1/14;H01L21/68 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 王景刚;王冉 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种以矩形框架的形式可移动地固定荫罩(1)的装置,在所述矩形框架的边(2,3)上设置夹紧装置以夹紧所述荫罩(1)的所述边(1′)。依照本发明,所述夹紧装置包括多个单个弹簧元件(4),其夹紧所述荫罩边(1′)上的紧密邻近的点。所述单个弹簧元件(4)分配到所述框架的一个边(2,3)上且具体化为板簧(4),所述板簧以梳型方式相互连接,所述单个弹簧元件能通过共有的辅助夹紧构件(5)从将所述荫罩(1)能安装在所述框架上的安装位置移动到夹紧位置。 | ||
搜索关键词: | 保持 装置 | ||
【主权项】:
1.一种将荫罩(1)以矩形框架的形式可释放地保持的装置,即张紧装置,其在所设置的所述荫罩的边缘(1′)处作用于框架的边(2,3),其特征在于,所述张紧装置具有多个单个弹簧元件(4),其在紧密邻接的位置结合在所述荫罩边缘上(1′)。
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