[发明专利]高频等离子体射束源及喷射表面的方法有效
| 申请号： | 200480015920.5 | 申请日： | 2004-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1802724A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | R·贝克曼 | 申请（专利权）人： | 莱博德光学有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;张志醒 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及高频等离子体射束源(1)，带有：等离子体室(3)；电气装置(8、9)，将电压施加在该高频等离子体射束源(1)上，以激发和维持该等离子体；从等离子体空间(3)引出等离子体射束(I)的装置(4)；以及用引出网格(4)与真空室(7)分隔的出口。等离子体射束(I)从高频等离子体射束源(1)产生，基本上呈发散的喷射特性。本发明还涉及用高频等离子体射束源的等离子体射束(I)喷射一个表面的方法，其中所述等离子体射束(I)是发散的。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 等离子体 射束源 喷射 表面 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高频等离子体射束源，带有：等离子体用的等离子体室(3)；电气装置(8、9)，用以激发和维持等离子体；处于高频电位的引出网格(4)，用以从等离子体室(3)引出等离子体射束(I)；以及出口，尤其是对着真空室(7)的出口，其中所述引出网格(4)布置在该出口的范围内，其特征在于，所述等离子体射束(I)基本上为发散的。
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