[发明专利]多化学剂电镀系统

摘要

本发明的实施例一般提供电化学电镀系统。所述电镀系统包括衬底装载站，其被放置与主框架处理平台相连；至少一个衬底电镀槽，其被放置在主框架上；至少一个衬底斜边清洗槽，其被放置在主框架上；以及叠层的衬底热处理站，其被放置与主框架和装载站至少其中之一相连，所述叠层的衬底热处理站中各个室具有加热板、冷却板和衬底传送机械手。

主权项

1.一种电化学电镀系统，包括：一衬底电镀槽，其位于一主框架上，所述电镀槽包含分开的阴极电解液区域和阳极电解液区域；一衬底斜边清洗槽，其位于所述主框架上；一衬底旋转冲洗干燥槽，其位于所述主框架上；一叠置衬底热处理站，其被设置成与所述主框架相连，在所述叠置衬底热处理站中的各室有一衬底加热板和一衬底冷却板，该衬底加热板和该衬底冷却板是相邻地放置在该室中的；至少一个衬底传送机械手，其被设置用于在各所述槽与所述热处理站之间传送衬底。