[发明专利]从具有流量控制装置的气体供给设备向容器分流地供给气体的气体分流供给装置及气体分流供给方法有效
| 申请号： | 200480017296.2 | 申请日： | 2004-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1809794A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 杉山一彦;池田信一;西野功二;土肥亮介;上野山丰己 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;杨松龄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 设计为从具有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地以规定的流量比Q1/Q2向容器内分流供给规定流量Q的处理气体。因此，在本发明中，在用于从具有流量控制装置(QCS)的气体供给设备(1)向容器供给规定流量Q的气体(G)的多条分支管线(GL1、GL2)上，分别设置开闭阀(OV1、OV2)，并使用在前述开闭阀(OV1)的下游侧从(GL1)分支的旁通管线(BL1)、在开闭阀(OV2)的下游侧从(GL2)分支的(BL2)、连接在旁通管线(BL1)和旁通管线(BL2)上的压力式分流控制器(FV)、测定分流供给管线(GL1)内的压力的压力传感器(PS1)、测定分流供给管线(GL2)内的压力的压力传感器(PS2)，通过分支供给管线(GL1、GL2)的末端固定的喷淋板(3、4)，以希望的分流流量Q1、Q2向容器(C)内分流供给总量Q＝Q1+Q2的气体。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 流量 控制 装置 气体 供给 设备 容器 分流 方法 | ||
【主权项】：
1、一种从具有流量控制装置的气体供给设备向容器分流地供给气体的气体分流供给装置，从具有流量控制装置(QCS)的气体供给设备(1)通过多条分支供给管线(GL1、GL2)及固定在其末端的喷淋板(3、4)、以规定的流量比Q1/Q2向容器(C)内分流地供给规定流量Q的气体(G)，其特征在于：在前述气体供给设备(1)与容器(C)之间设置有分流控制装置(2)，分流控制装置(2)包括分别设置在前述多条分支供给管线(GL1、GL2)上的开闭阀(OV1、OV2)、在开闭阀(OV1)的下游侧从分支供给管线(GL1)分支的旁通管线(BL1)、在开闭阀(OV2)的下游侧从分支供给管线(GL2)分支的旁通管线(BL2)、连接在旁通管线(BL1)和旁通管线(BL2)上的压力式分流控制器(FV)、测定分支供给管线(GL1)内的压力的压力传感器(PS1)、测定分支供给管线(GL2)内的压力的压力传感器(PS2)。
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