[发明专利]正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图案的方法有效
| 申请号： | 200480018215.0 | 申请日： | 2004-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1813222A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 林亮太郎;竹下优;岩井武 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F220/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 程金山 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种正型抗蚀剂组合物，该抗蚀剂组合物包括在酸作用下显示增加的碱溶解度的树脂组分(A)、通过曝光生成酸的酸生成剂组分(B)和有机溶剂(C)。组分(A)具有：(i)结构单元(a1)，其含有可酸解离的、溶解抑制基团并且衍生自(甲基)丙烯酸酯，(ii)结构单元(a2)，其含有比结构单元(a1)中含有的可酸解离的、溶解抑制基团更不容易解离的可酸解离的、溶解抑制基团并且衍生自(甲基)丙烯酸酯，和(iii)结构单元(a3)，其含有内酯官能团并且衍生自(甲基)丙烯酸酯。 | ||
| 搜索关键词： | 正型抗蚀剂 组合 使用 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种正型抗蚀剂组合物，其包含：在酸作用下显示增加的碱溶解度的树脂组分(A)，所述的组分(A)包含：(i)结构单元(a1)，其含有可酸解离的、溶解抑制基团并且衍生自(甲基)丙烯酸酯，(ii)结构单元(a2)，其含有比结构单元(a1)中含有的可酸解离的、溶解抑制基团更不容易解离的可酸解离的、溶解抑制基团，并且衍生自(甲基)丙烯酸酯，和(iii)结构单元(a3)，其含有内酯官能团并且衍生自(甲基)丙烯酸酯，通过曝光生成酸的酸生成剂组分(B)，和有机溶剂(C)。
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