[发明专利]用于处理微特征工件的、具有流动搅拌器和/或多个电极的方法和系统

摘要

本发明公开了具有安装模块的工具，该安装模块有对齐系统。安装模块包括用于精确定位反应器和工件输送装置的定位元件，该工件输送装置将工件送向反应器和送出反应器。在反应器的定位元件之间的相对位置固定，这样，当拆卸反应器和以另一反应器进行更换时，工件输送装置并不需要重新标定。反应器包括搅拌器，用于搅动在工件处理表面处的处理流体。搅拌器、反应器和在反应器内的电极设置成减小由搅拌器在工件表面产生电阴影的可能性，并考虑当搅拌器和/或工件接收器相对运动时对电场的三维影响。

主权项

1.一种用于湿化学处理微特征工件的工具，包括：处理支架；湿化学处理反应器，该湿化学处理反应器由处理支架承载，反应器包括：处理容器，该处理容器设置成接收处理流体；工件支架，该工件支架设置成在容器的处理位置将工件至少局部浸没在处理流体中；以及处理流体搅拌器，该处理流体搅拌器位于容器内并至少靠近处理位置，处理流体搅拌器有至少一个细长搅拌器表面，且搅拌器和工件支架中的至少一个可相对于处理位置运动，以便至少在处理位置附近搅动处理流体，反应器还包括促动器，该促动器与搅拌器和工件支架中的至少一个操作连接；以及工件输送装置，该工件输送装置由处理支架承载，并可相对于反应器运动，以便使工件相对于反应器运动。