[发明专利]用于原位流量检验和校准的系统和方法有效
| 申请号： | 200480021571.8 | 申请日： | 2004-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN1829903A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 卡韦赫·扎卡尔;迈克尔·F·拉巴锡;马克·J·夸拉蒂耶洛 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 韩宏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于流量控制设备的原位检验和校准的系统和方法，包括连接流量控制设备和流量检验设备的第一网络物理层。流量检验设备的控制器通过第一网络物理层与每个流量控制设备通信，从每个流量控制设备接收气体详细信息和传递函数，并检验每个流量控制设备的流量。流量检验设备的控制器进一步通过第一网络物理层与每个流量控制设备通信，如果必要，校准流量控制设备。流量控制设备的检验和校准优选为根据连接到第二网络物理层的工具控制器提供的单命令执行，第二网络物理层连接到流量控制设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 原位 流量 检验 校准 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于流量控制设备的原位检验和校准的系统，包括：流量检验设备；用于将所述流量控制设备连接到所述流量检验设备的第一网络物理层；以及连接到所述流量检验设备的第二网络物理层；其中，如果需要，所述流量检验设备的控制器根据通过所述第二网络物理层提供的单命令，检验和校准所述第一网络物理层中的流量控制设备。
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