[发明专利]通过多向变形形成溅射制品的方法无效
| 申请号： | 200480022803.1 | 申请日： | 2004-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1833048A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·范斯普雷克尔森;克里斯托弗·A·迈卡卢克;罗伯特·B·福德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种生产电子管金属轧制形式的方法，该电子管金属轧制形式具有足够的尺寸以被分割形成多个溅射靶。该方法包括使锭多向变形以形成轧制形式，该轧制形式具有优选的约100微米或更小的平均粒径和/或基本没有结构带的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 多向 变形 形成 溅射 制品 方法 | ||
【主权项】：
1.一种生产多向变形的电子管金属的方法，该电子管金属具有足以被分割形成多个溅射靶的尺寸，该方法包括：使锭第一变形以形成预成型板坯，该预成型板坯具有第一尺寸、垂直于所述第一尺寸的第二尺寸、和垂直于所述第二尺寸的第三尺寸，该第三尺寸小于所述第一尺寸和所述第二尺寸两者；和使所述预成型板坯第二变形以形成中间板坯，该第二变形通过增加所述第三尺寸并减小所述第二尺寸以使所述第二尺寸小于所述第三尺寸，其中所述中间板坯具有小于约250微米的平均粒径。
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