[发明专利]用于电互连的掺杂合金、其制造方法及其用途无效
申请号: | 200480025512.8 | 申请日: | 2004-09-07 |
公开(公告)号: | CN1943030A | 公开(公告)日: | 2007-04-04 |
发明(设计)人: | 南希·迪安;詹姆斯·弗林特 | 申请(专利权)人: | 霍尼韦尔国际公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/52;H01L29/40;H01L21/78 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 范赤;段晓玲 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 在此公开的焊料材料和掺杂剂包括至少一种焊料材料、至少一种磷基掺杂剂和至少一种铜基掺杂剂。形成掺杂焊料材料的方法包括:a)提供至少一种焊料材料;b)提供至少一种磷基掺杂剂;c)提供至少一种铜基掺杂剂,以及d)使该至少一种焊料材料、该至少一种磷基掺杂剂和该至少一种铜基掺杂剂混合,从而形成掺杂焊料材料。在此还公开了层状材料,其包括:a)表面或基底;b)电互连;c)如在此所述的、含有至少一种磷基掺杂剂和至少一种铜基掺杂剂的焊料材料,以及d)半导体芯片或封装。还设想了电子和半导体元件,其包括在此公开的焊料材料和/或层状材料。 | ||
搜索关键词: | 用于 互连 掺杂 合金 制造 方法 及其 用途 | ||
【主权项】:
1.一种掺杂焊料材料,其包括:至少一种焊料材料;至少一种磷基掺杂剂;以及至少一种铜基掺杂剂。
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