[发明专利]母盘的制造方法、母盘的制造装置、母盘的移动距离差检测方法及母盘的移动距离差检测装置无效
| 申请号： | 200480025632.8 | 申请日： | 2004-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1846257A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 佃雅彦;阿部伸也 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/085 | 分类号： | G11B7/085;G11B7/26;G11B19/20;G11B19/28;G03F7/20;G01B7/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种母盘制造方法，用保持曲率移动的水平移动装置来实现正确的母盘传送精度，包括：使光阻剂母盘(108)自转的工序；移动上述光阻剂母盘(108)的工序；读取与上述移动相伴的上述光阻剂母盘(108)的中心点在轨迹上的移动距离的工序；对上述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随上述移动的上述光阻剂母盘(108)的中心点在直线上的移动距离之差进行检测的工序；以及，根据上述检测结果，控制规定的制造参数的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 母盘 制造 方法 装置 移动 距离 检测 | ||
【主权项】：
1.一种母盘制造方法，包括：使母盘自转的工序；移动所述母盘的工序；读取与所述移动相伴的所述母盘的中心点在轨迹上的移动距离的工序；对所述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随所述移动的所述母盘的中心点在直线上的移动距离之差进行检测的工序；以及，根据所述检测结果，控制规定的制造参数的工序。
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