[发明专利]长寿命溅射靶无效
| 申请号： | 200480025855.4 | 申请日： | 2004-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN1849408A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | R·佩罗特;T·J·洪特;H·J·柯尼希斯曼;P·S·吉尔曼 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯S·T·技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;B23K28/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种制造溅射靶组件(20)的方法及其产品。所述方法包括制造靶座(26)，所述靶座具有平面顶表面和其中的圆柱形凹部。随后制造接近最终形状的靶插入件(22)，所述靶插入件具有对应于所述靶座(26)的所述圆柱形凹部(28)的截锥形后表面(24)和前表面。所述靶插入件(22)具有大于所述靶座(26)的屈服强度的屈服强度，和大于所述靶座(26)中的所述圆柱形凹部的深度的高度。其后，所述靶插入件(22)被热压进入所述靶座(26)的所述圆柱形凹部(28)内达到塑性变形状态以便将所述靶插入件(22)扩散结合到所述靶座(26)上并形成所述靶组件(20)。所述靶插入件(22)突出到所述靶座(26)的所述平面前表面之上。 | ||
| 搜索关键词： | 寿命 溅射 | ||
【主权项】：
1、一种制造溅射靶组件的方法，包括以下步骤：a)制造靶座，所述靶座具有平面顶表面和其中的圆柱形凹部，所述凹部具有一定深度和直径，且所述靶座具有一定屈服强度；b)制造接近最终形状的靶插入件，其中所述靶插入件具有对应于所述靶座的所述圆柱形凹部的截锥形后表面和前表面，所述靶插入件进一步具有大于所述靶座屈服强度的屈服强度，和大于所述靶座中的所述圆柱形凹部的所述深度的高度；并且c)将所述靶插入件热压进入所述靶座的所述圆柱形凹部内达塑性变形状态以便将所述靶插入件扩散结合到所述靶座上并形成所述靶组件，其中所述靶插入件突出到所述靶座的所述平面前表面之上。
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