[发明专利]液态金属离子源及其控制方法无效
| 申请号： | 200480027321.5 | 申请日： | 2004-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN1856858A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 亚设·珀尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/22 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明提供一种用来控制液态金属离子源的方法，该液态金属离子源包含一尖端，一第一电极及一第二电极，该方法包括的步骤为：(i)将第一电极保持在第一电压等级范围及将第二电极保持在第二电压等级范围，用以在源的操作中主动模式期间撷取形成在尖端上的金属离子；(ii)将第一电极保持在第三电压等级范围及将第二电极保持在第四电压等级范围，用以在源的操作中闲置模式期间实质上减少从尖端撷取金属离子。第三电压等级和第四电压等级中至少其一并不包括零电压等级。第一电压等级不同于第三电压等级。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 金属 离子源 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制液态金属离子源的方法，所述金属离子源包含一尖端，一第一电极及一第二电极，所述方法至少包括以下的步骤：将所述第一电极保持在第一电压等级范围及将所述第二电极保持在第二电压等级范围，用以在所述源的操作的一主动模式期间撷取形成在所述尖端上的金属离子；将所述第一电极保持在第三电压等级范围及将所述第二电极保持在第四电压等级范围，用以在所述源的操作的一闲置模式期间实质上减少从所述尖端撷取金属离子；其中所述第三电压等级和所述第四电压等级，至少其一并不包括零电压等级；及其中第一电压等级不同于第三电压等级。
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