[发明专利]用于多光束偏转和强度稳定的装置有效
| 申请号： | 200480027539.0 | 申请日： | 2004-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101137927A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 保罗·C·艾伦;阿兰·J·维克斯特姆;布赖恩·C·鲍特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02F1/11 | 分类号： | G02F1/11;G02F1/29;G02B26/00;G02F1/33;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于扫描系统中的多光束发生器，其中所述发生器包括：声光偏转器(AOD)，所述声光偏转器在使用期间接收激光束并产生偏转光束，所述偏转光束的偏转由AOD控制信号确定；衍射元件，所述衍射元件从所述偏转光束产生输入光束阵列；以及控制电路，所述控制电路在操作期间产生所述AOD控制信号并改变第一控制信号的特性以说明所述扫描系统中的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光束 偏转 强度 稳定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于扫描系统中的多光束发生器，所述发生器包括：声光偏转器，所述声光偏转器在使用期间接收激光束并产生偏转光束，所述偏转光束的偏转由声光偏转器控制信号确定；衍射元件，所述衍射元件从所述偏转光束产生输入光束阵列；以及控制电路，所述控制电路在操作期间产生所述声光偏转器控制信号并根据所述扫描系统中的误差来改变第一控制信号的特性。
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