[发明专利]基板切割系统、基板制造装置及基板切割方法有效
申请号: | 200480027646.3 | 申请日: | 2004-09-24 |
公开(公告)号: | CN1856392A | 公开(公告)日: | 2006-11-01 |
发明(设计)人: | 西尾仁孝;冈岛康智;大岛幸雄;大成弘行;吉本和宏 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业株式会社 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;C03B33/033 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王艳江;杨生平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的是使得基板切割系统紧凑并能够有效切割各种基板。根据本发明的基板切割系统包括:一对相向设置的划线形成装置;一对划线设备,用于支撑该对划线形成装置,使得该对划线形成装置的其中一个在一基板的第一表面上沿x轴方向移动,而该对划线形成装置中的另一个在该基板的第二表面上沿x轴方向移动;一划线设备导引体,用于支持该对划线设备,使得该对划线设备沿Y轴方向移动;一基板支撑装置,用于在X-Y平面内支撑该基板,使得该对划线形成装置刻划该基板的第一表面和该基板的第二表面。 | ||
搜索关键词: | 切割 系统 制造 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基板切割系统,包括:一对相向设置的划线形成装置,一对划线设备,用于支撑该对划线形成装置,使得该对划线形成装置的其中一个在一基板的第一表面上沿x轴方向移动,而该对划线形成装置中的另一个在该基板的第二表面上沿x轴方向移动;一划线设备导引体,用于支持该对划线设备,使得该对划线设备沿Y轴方向移动;一基板支撑装置,用于在X-Y平面内支撑该基板,使得该对划线形成装置刻划该基板的第一表面和该基板的第二表面。
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