[发明专利]具有微粒子俘获用的孔状旋转过滤板的成膜装置和方法

摘要

本发明的课题在于在通过激光烧蚀法、溅射法、电弧放电法等，产生薄膜形成成分的飞散微粒子束，使该飞散微粒子束附着于基板上的成膜装置中，即使在用于俘获小滴的过滤器呈容易制作形状，价格低的情况下，仍容易实现俘获，并且，确实地不再次释放一度俘获的微粒子，防止薄膜的污染。将孔状旋转过滤板设置于靶和基板之间，该孔状旋转过滤板在圆板中开设贯通到两个表面的多个通孔，能以该圆板的中心为旋转轴高速旋转，该孔状旋转过滤板按照仅仅在该通孔中飞行而穿过该孔的微粒子堆积于基板上，构成小滴的飞行速度较慢的微粒子俘获于该通孔的内面的方式设置。通孔的部分的总的表面积占孔状旋转过滤板的总表面积的比例在80％或以上，通孔的内部直径最好大于过滤板的表面部分的直径。

主权项

1.一种成膜装置，在该成膜装置中，产生作为薄膜形成成分的飞散微粒子束，将该飞散微粒子束附着于基板上，其特征在于将孔状旋转过滤板设置于靶和基板之间，该孔状旋转过滤板在圆板中开设贯通到两个表面的多个通孔，能以该圆板的中心为旋转轴高速旋转，该孔状旋转过滤板按照仅仅在该通孔中飞行而穿过该孔的微粒子堆积于基板上，构成小滴的飞行速度较慢的微粒子俘获于该通孔的内面的方式设置。