[发明专利]在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置无效
| 申请号： | 200480033062.7 | 申请日： | 2004-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1879188A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·穆尔 | 申请（专利权）人： | 全域探测器公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制备TEM样品架(170)的样坯(100)，其包括片材(120)，所述片材包括TEM样品架模板(170)。片材(120)至少有一部分将TEM样品架模块(170)与片材的其他部分相连。通过在压机中从样坯上切出TEM样品架模板(170)而形成TEM样品架(170)，所述切削将纳操作器探针末梢(150)的针尖(160)与所形成的TEM样品架(170)相接合，所述探针(150)的针尖(160)上连接有样品，用于在TEM中进行检验。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 离子束 显微镜 进行 快速 样品 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备TEM样品架的样坯，该样坯包括：片材；该片材包括一个TEM样品架模板；和一个或多个穿过所述片材的通道，其将TEM样品架模板与所述片材的边缘相连。
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