[发明专利]自动化的材料处置系统

摘要

一种半导体工件处理系统，包括至少一个处理工具、容器(151)、第一传输分段(12)和第二传输分段(14)。第一传输分段具有可沿着第一轨道(16)移动而移动储盒的运载工具(200)。第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有第二轨道(18)。第一轨道和第二轨道设置成彼此邻近，以允许在一次操作中，容器在它们之间一体地移动。

主权项

1.一种半导体工件处理系统，包括：至少一个用于处理半导体工件的处理工具；用于保存至少一个半导体工件、从而将其来回地传输到所述处理工具中的容器；连接在所述处理工具上的第一传输分段，其用于将所述容器来回地传输到所述处理工具中；和连接在所述第一传输分段上的第二传输分段，其用于将所述容器来回地传输到所述处理工具中；其中，所述第一传输分段是基于运载工具的分段，其具有能够保持所述容器并沿着所述第一传输分段的第一轨道而移动的运载工具，所述第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有第二轨道，所述第二轨道的至少一个支撑元件适于与所述容器对接，以便可移动地支撑来自所述第二轨道的容器，并允许所述容器相对于所述第一轨道移动，其中，所述第二传输分段具有连接在所述第二轨道上的电动机，其用于使所述第二轨道上的容器与所述第一轨道上的运载工具对准。