[发明专利]具有法布里-珀罗滤波器的基底和将滤波器涂覆在基底上的方法无效

专利信息
申请号: 200480042867.8 申请日: 2004-03-01
公开(公告)号: CN1942744A 公开(公告)日: 2007-04-04
发明(设计)人: G·霍夫曼;R·路德维希;H·-G·罗茨;G·施泰尼格尔 申请(专利权)人: 应用材料股份有限两合公司
主分类号: G01J3/26 分类号: G01J3/26;G02B26/00;C23C14/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 曹若;胡强
地址: 德国阿*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 用作为薄涂层涂覆在薄膜上,例如包装薄膜上的法布里-珀罗滤波器可以实现有趣的色彩效果。本发明提出了一种涂层的层构造,其中滤波器的两个反射层由铝制成,而在反射层之间的中间层由铝氧化物制成。一种这样的涂层的光学性能类似于以前已知涂层的性能,在以前的涂层中使用了二氧化硅化合物作为中间层。但按照本发明的层状构造还具有以下优点:滤波器可以在一道工序中在一种只有一个蒸发装置的真空涂层设备里进行涂覆。
搜索关键词: 有法 滤波器 基底 方法
【主权项】:
1.具有一个涂覆在其上面的、由至少三层组成的法布里-珀罗滤波器的基底,其中滤波器的第一和第二反射层以相互面对着的反射表面相互隔开一个厚度为d的间隙,并在该间隙里包围一个透光的中间层,其特征在于,所述反射层(4,6)由同一种基本材料制成,而中间层(5)由这种基本材料与另外一种材料的化合物制成。
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