[发明专利]使用电能和化石燃料的气体净化方法及其气体净化器无效
| 申请号： | 200480044569.2 | 申请日： | 2004-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN101076390A | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | 金东秀 | 申请（专利权）人： | M.A.T.株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/34 | 分类号： | B01D53/34 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种同时使用电能和化石能的燃烧类型的气体净化方法以及实施该方法的气体净化器。该气体净化器具有一燃烧室，该燃烧室包括：限定一燃烧腔的内部壳体；至少一个用于将废气引入燃烧腔的气体入口；用于将空气引入燃烧腔的空气入口；以及设置在燃烧腔的外周上并通过供电线路连接到电源的电加热器。并且，该燃烧腔包括：用于在燃烧腔的温度升高到高于预定温度时将点火燃料引入燃烧室的点火燃料口；用于由注入点火燃料而产生的火焰的点火传感器；以及用于在点火传感器检测到点火火焰时供应大量燃料的主燃料口。本发明的气体净化方法和气体净化器，同时使用电能和化石能，由此，同时提高能量效率和气体净化效率并且减少CO2气体的排放。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 电能 化石 燃料 气体 净化 方法 及其 净化器 | ||
【主权项】：
1.一种用于净化半导体制造工艺中所排放的气体的方法，其特征在于，电能和化石能都被利用，并且根据气体所含成分和净化环境来调整电能和化石能的利用率。
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