[发明专利]用于减少非随机噪声效应的测量系统和方法无效
| 申请号： | 200510003486.5 | 申请日： | 2005-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1837745A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | B·森德;A·丹;O·梅纳德瓦;S·莱汀斯基;R·达瑞 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明揭示了用于减少非随机噪声效应的测量系统和方法，包括，一种系统包括适用于存储至少一个中间图像的存储单元，和处理器，其被连接至该存储单元且适用于(i)确定在中间图像内的感兴趣区域之间和在至少一个参考图像内的相应感兴趣区域之间的空间关系，及(ii)产生图像以响应空间关系和多个中间图像的内容。该中间图像可包含多个中间图像部分和多个感兴趣的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减少 随机 噪声 效应 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种方法，包括：确定在至少一个中间图像内的感兴趣区域之间和在至少一个参考图像内的相应感兴趣区域之间的空间关系；其中中间图像包括多个中间图像部分，并且其中多个中间图像部分包括多个感兴趣区域；和产生图像，以响应空间关系和响应多个中间图像的内容。
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